Uygulama
Yüksek ve düşük sıcaklık testi
Boyut ve dönüş açısı (chuck)
6 ", 360 ° rotasyon
X-Y seyahat aralığı (chuck)
6 "* 6"
Hareketli çözünürlük (chuck)
1μm
Örnek sabit mod (chuck)
Vakum adsorpsiyonu
U şekli merdane
8 mikro konum mevcut
Merdane hareket aralığı ve ayar modu
Yukarı ve aşağı 6mm, yukarı ve aşağı 25mm ayarlı
Sıcaklık özellikleri
-100 ~ 200 ℃(± 0.1 ° c/saat)
Mikroskop
X-Y eksen: 2 "* 2", z ekseni: 50.8mm
Mikro konumlandırıcı
12-12-12mm / 8-8-8mm(X-Y-Z hareket aralığı)